持續供應高品質水對微電子行業至關重要。確保供水服務在品質、產量和連續性方面的可靠性是當務之急。
創新與法規：電子與光伏行業面臨的挑戰
生產超純水的頂尖和創新技術。
廢水處理、產物回收、水的循環再利用。
更好的資源管理及節約用水。
威立雅如何致力於幫助其電子與光伏行業客戶
半導體製造涉及感光和化學處理等多個步驟，在此期間，電子電路逐漸在由純半導體材料製成的晶片上創建。矽晶圓的上游製造（包含晶錠生長到晶圓切片和拋光）對成品的最終品質至關重要且需要大量的高純水。
在 300 毫米晶圓上製造集成電路總共需要大約 8,328 升水，其中 5,678 升是超純水。
半導體行業每年在水和廢水處理系統上花費大約 20 億美元。
來源：Global Water Intelligence (2009) 純水、半導體與經濟衰退
TFT-LCD、硬盤驅動器、光伏和印刷電路板 (PCB) 等電子和微電子子市場需要現代且精準的水處理系統和廢水解決方案，因為水是主要的潛在污染源。
晶圓的製作有幾大步驟，包括提煉高純度的多晶矽、溶解、提純、蒸餾一系列措施製成單晶矽棒、切片、拋光和光罩處理。除了要在這些初步階段注入大量超纯水外，水資源在後續階段中也扮演了關鍵角色，即製作電池和光伏模組。
適合所有電子與光伏業者的調整型解決方案
威立雅水務技術公司擁有無與倫比的經驗和處理整個設施水循環的能力，涵蓋超純水生產、廢水處理以及回收和再利用。
我們的先進技術旨在應對半導體製造過程中面臨的重大挑戰。
超純水處理
製造過程中的每個組件都必須進行清洗，以使其沒有任何污染物。因此，在製造過程的許多階段都會使用純度最高的水——超純水。
廢水處理
微電子行業的廢水流通常含有銅蝕刻化學品、背磨和切割漿料以及 TMAH/氨水。
再生水利用和循環利用
沖洗水、背磨和切割廢水可以回收再利用，以提高生產線的成本效益和永續性。
更高的產量
穩定的超純水品質可以為我們的微電子客戶帶來更低的產品不良率和更高的產量。
憑藉我們數十年的經驗、出色的快速回應能力及您所在領域專家團隊的支持，以及 24/7 全天候保證現場處理和緊急行動式水處理解決方案，我們可以進一步支持您的生產。
信任威立雅的電子與光伏客戶
威立雅水務技術公司為位於新加坡 Pasir Ris 的 Soitec 晶圓廠設計並建造了超純水和廢水處理廠。
我們透過結合兩種等級的高品質水提供具有成本效益的解決方案，並藉由使用連續去離子技術確保水具有穩定的高純度且溶液不含化學品。
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最高品質的可靠超純水對於微電子行業提高產量至關重要。 除了生產目標外，該行業的參與者還在永續發展和環境足跡方面設定了高目標；精巧高效的廢水處理解決方案與永續的、前瞻性的水回收和再循環解決方案相結合，有助於實現這些目標。
Mehbub KHAN
新加坡電力與微電子市場經理
威立雅水務技術公司
透過 LinkedIn 個人資料聯繫 Mehbub
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資源
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電子與光伏公司水處理解決方案的常見問題
什麼是環境社會治理 (ESG)？為什麼對於半導體行業而言，解決永續性問題很重要？
環境社會治理 (ESG) 可以定義為公司治理及其對社會和永續發展事務的影響。良好的 ESG 實踐可以幫助公司為應對水資源短缺等緊迫問題的影響做好準備，從而建立生產彈性。企業也應該採用 ESG 實踐，這會影響他們保障融資的能力，因為銀行會越來越多地將其作為管理風險的投資標準。
超純水 (UPW) 處理的基本處理步驟是什麼？
超純水製程通常需要多媒體過濾器 (MMF) 和活性碳過濾器 (ACF)、逆滲透 (RO)、脫氣器、離子交換和紫外線處理。
高品質超純水 (UPW) 的典型特徵是什麼？
根據用於電子和半導體行業的超純水 ASTM D5127 和 SEMI F63 指南，建議標準如下：
微電子行業如何提高晶圓良率？
晶圓良率是該行業最關鍵的參數。超純水中存在的「殺手」顆粒或微污染可能會對微電子元件造成物理損壞，並最終導致代價高昂的設備缺陷和生產廢品，因此每一種新一代技術都必須實現更高的超純水 (UPW) 質量並採用更好的監測系統。對關鍵參數的及時監控將有助於 UPW 工程師和製程工程師更好地瞭解雜質與晶圓缺陷之間的相關性。這將使該行業的製造商（特別是 FinFet 設備和奈米線類設備）從管理產品品質轉向掌控產品品質。
PCB 廢水處理過程中的基本處理步驟是什麼？
電解通常用於處理溶解的 CU 廢水，而澄清（例如 Actiflo®）和離子交換通常用於螯合 CU 廢水流。對於有機廢水，製程工程師可以考慮使用膜生物反應器 (MBR)。
如何去除廢水中的 TMAH 和氨？
結合以下技術可有效去除 TMAH 和氨：
- 厭氧處理：上流式厭氧污泥床 (UASB) 或 膨脹顆粒污泥床 (EGSB),
- 好氧處理：膜生物反應器 (MBR) 或 移動床生物膜反應器 (MBBR)
- 去氨化：Anita™ Mox 製程是一種單級脫氨技術，具有能源中性特點，經證實可實現超過 90% 的氨去除率和 75-85% 的總氮去除率。
在沒有 RO 膜的情況下如何回收和循環利用水？
在水的回收與再利用過程中部署的逆滲透 (RO) 膜可能是能源密集型的。這導致了實現和維持這種逆滲透和超濾膜技術需要較高的 CAPEX，並需要投入更大的工作量和 OPEX。然而，透過非膜製程回收水的成本往往更低，並且可以更好地滿足公司的連續性和成本效率目標。事實上，威立雅的非膜解決方案（例如精巧的 Actiflo® 沉澱池、Hydrotech™ 盤式過濾器 和去離子服務）可提供高達 95% 的回收率，消耗極低的能源並且需要很少的化學品。這使企業能夠節省能源和化學品消耗，減少對就地清潔或化學增強反沖洗的需求，並同時實現其 ESG 目標。